芯片制造：半導(dǎo)體工藝與設(shè)備

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本書著重介紹了半導(dǎo)體制造設(shè)備，并從實踐的角度出發(fā)，選取了極具代表性的設(shè)備進(jìn)行講解。為了讓讀者加深對各種設(shè)備用途的理解，采用了一邊闡述半導(dǎo)體制造工藝流程、一邊說明各制造工藝中所使用的制造設(shè)備及其結(jié)構(gòu)和原理的講解方式，力求使讀者能夠系統(tǒng)性地了解整個半導(dǎo)體制造體系。
本書可作為從事集成電路工藝與設(shè)備方面工作的工程技術(shù)人員，以及相關(guān)研究人員的參考用書，也可作為高等院校微電子、集成電路相關(guān)專業(yè)的規(guī)劃教材和教輔用書。